| Номер документа в системі: | 93194 |
| Автор: | Данилин Б.С. |
| Назва документа: | Вакуумная техника в производстве интегральных схем |
| Видавництво: | Энергия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1972 |
| УДК | 621.3.049.77.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 256 с. |