| Номер документа в системі: | 93195 |
| Автор: | Данилин Б.С. |
| Назва документа: | Вакуумное нанесение тонких пленок |
| Видавництво: | Энергия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1967 |
| УДК | 621.382.8-416.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 539.23 |
| Кількість сторінок | 312 с. |