| Номер документа в системі: | 93199 |
| Автор: | Данилин Б. С., Киреев В. Ю. |
| Назва документа: | Ионное травление микроструктур |
| Видавництво: | Советское радио |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1979 |
| УДК | 621.3.049.77.002:621.794.4 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 103 с. |