| Номер документа в системі: | 93201 |
| Автор: | Данилин Б. С., Сырчин В. К. |
| Назва документа: | Магнетронные распылительные системы |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1982 |
| УДК | 621.315.592.002+416.002:621.793.7.06 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 73 с. |