| Номер документа в системі: | 93233 |
| Автор: | Данилин Б. С. |
| Назва документа: | Получение тонкопленочных элементов микросхем |
| Видавництво: | Энергия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1977 |
| УДК | 621.3.049.772 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 136 с. |