| Номер документа в системі: | 93234 |
| Автор: | Данилин Б.С., Киреев В.Ю. |
| Назва документа: | Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов |
| Видавництво: | Энергоатомиздат |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1987 |
| УДК | 621.794:533.9 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.794 |
| Кількість сторінок | 262 с. |