| Номер документа в системі: | 93402 |
| Автор: | Варадан В., Виной К., Джозе К. |
| Назва документа: | ВЧ МЭМС и их применение |
| Видавництво: | Техносфера |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 2004 |
| УДК | 621.3.049.77 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Аннотація | Предисловия... 13
Глава 1.
Микросистемы ...22
1.1. Введение ...22
1.2. Краткий обзор микросистем …24
1.3. Технология изготовления микросистем...29
1.3.1. Объемная технология ...29
1.3.2. Поверхностная технология ...33
1.3.3. Соединение слоев внутри микросистемы...36
1.3.4. Технология LIGA...38
1.3.5. Изготовление полимерных микросистем...40
1.3.6. 3D технология изготовления микросистем…43
1.4. Электромеханические преобразователи ...45
1.4.1. Пьезоэлектрические преобразователи...48
1.4.2. Электрострикционные преобразователи…51
1.4.3. Магнитострикционные преобразователи...53
1.4.4. Электростатические преобразователи ...56
1.4.5. Электромагнитные преобразователи ...59
1.4.6. Электродинамические преобразователи...62
1.4.7. Электротермические преобразователи...66
1.4.8. Сравнение электромеханических преобразователей ...68
1.5. Чувствительные элементы для микросистем...70
1.5.1. Пьезорезистивные чувствительные элементы...70
1.5.2. Емкостные чувствительные элементы...71
1.5.3. Пьезоэл |
| Кількість сторінок | 528 с. |