| Номер документа в системі: | 93437 |
| Автор: | Горлов М.И., Емельянов В.А., Строгонов А.В. |
| Назва документа: | Геронтология кремниевых интегральных схем |
| Видавництво: | Наука |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 2004 |
| УДК | 621.3.049.77.019.3(075.8) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Аннотація | Введение... 6
Литература к введению... 8
Глава 1. Конструкция интегральных схем и элементы их ненадежности... 9
1.1.Конструкция интегральных схем... 9
1.2. Элементы ненадежности ИС ... 14
1.3. Критерии и количественные показатели надежности ИС... 19
Литература... 28
Глава 2. Физические механизмы деградации полупроводникового кристалла ИС... 29
2.1. Причины деградации параметров ИС
из-за дефектов в кристалле ... 29
2.2. Влияние дислокации, образующихся при диффузии,
на деградацию параметров ИС... 40
Литература... 49
Глава 3. Долговечность алюминевой металлизации... 52
3.1. Природа электромиграции ... 52
3.2. Методы экспериментального определения срока службы
металлизации... 58
3.2.1. Прямое определение среднего времени
наработки до отказа... 60
3.2.2. Определение среднего времени наработки
до отказа изрезистометрических измерений ... 63
3.2.3. Определение среднего времени наработки
до отказа из TRACE-измерений ... 66
3.3. Аналитические методы определения срока службы
металлизаци |
| Кількість сторінок | 240 с. |