| Номер документа в системі: | 95323 |
| Автор: | Демин В.В., Готра З.Ю., Матвийкив М.Д. |
| Назва документа: | Прогрессивные методы производства микросхем |
| Видавництво: | Каменяр |
| Місто видання: | Львов |
| Рік видання: | 1973 |
| УДК | 621.3.049.77 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 80 с. |