| Номер документа в системі: | 96538 |
| Автор: | Комаров Ф.Ф., Новиков А.П., Соловьев В.С., Ширяев С.Ю. |
| Назва документа: | Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии |
| Видавництво: | Университетское |
| Місто видання: | Минск |
| Рік видання: | 1990 |
| УДК | 621.315.592.2:546.28+548.4:539.1.04 |
| ISBN | 5-7855-0192-9 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 318 с. |