| Номер документа в системі: | 96539 |
| Назва документа: | Дефекты структуры, методы и их обнаружения, их влияние на параметры твердотельных приборов |
| Видавництво: | Московский ин-т электронной техники |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1984 |
| УДК | 621.315.592.004:620.18(06) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 109 с. |