| Номер документа в системі: | 96784 |
| Автор: | Джоветт Ч. Е. |
| Назва документа: | Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники |
| Видавництво: | Металлургия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1980 |
| УДК | 621.38.049.77.202.3 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 112 с. |