Номер документа в системі: | 99384 |
Автор: | Докучаев Ю.П., Разгуляев И.И. |
Назва документа: | Использование метода каналирования для исследования поверхностных ионнолегированных слоев в полупроводниках |
Видавництво: | ЦНИИ"ЭЛЕКТРОНИКА" |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1974 |
УДК | 621.382.001+537.311.322 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.382 |
Кількість сторінок | 54 с. |